Conformality analysis of the archetypical Al2O3 ALD process in 3 rd generation silicon based microscopic lateral high aspect ratio test structures

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaPosterScientific

AlkuperäiskieliEnglanti
TilaHyväksytty/In press - 17 heinäkuuta 2019
OKM-julkaisutyyppiEi oikeutettu
TapahtumaEurope-Korea Conference on Science and Technology - Vienna, Itävalta
Kesto: 15 heinäkuuta 201919 heinäkuuta 2019
https://www.ekc2019.org/page/ekc2019/ekc

Conference

ConferenceEurope-Korea Conference on Science and Technology
LyhennettäEKC
MaaItävalta
KaupunkiVienna
Ajanjakso15/07/201919/07/2019
www-osoite

Siteeraa tätä