Computational fluid dynamics study of the atomic layer deposition process around cylindrical and planar configurations

Gizem Ersavas Isitman*, Daulet Izbassarov, Riikka L. Puurunen, Ville Vuorinen

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

Hakutulokset