Projekteja vuodessa
Abstrakti
Computational fluid dynamics (CFD) simulations were used to model atomic layer deposition (ALD) coating processes in the continuum flow regime. CFD model was validated for non-reactive and reactive flows. In ALD CFD simulations, surfaces in various test cases were considered as non-porous aluminum oxide. The effect of trimethylaluminium precursor partial pressure, initial condition, and Reynolds number (Re) on coating timescale were analyzed. The CFD model accurately captured the surface coverage solution for all cases when the domain was initially filled with the precursor. The absence of initial precursor delayed coating time during the surface concentration level development process. As Re increased, coating time significantly decreased due to reduced diffusion limitations and promoted convection swiftly transporting precursors to the surfaces. The provided example showed that 2D polydisperse fixed cylinder bed is fully coated within approximately one flow time through the bed. The benefits of CFD in understanding ALD processes were discussed.
Alkuperäiskieli | Englanti |
---|---|
Artikkeli | 118862 |
Sivumäärä | 13 |
Julkaisu | Chemical Engineering Science |
Vuosikerta | 277 |
DOI - pysyväislinkit | |
Tila | Julkaistu - 5 elok. 2023 |
OKM-julkaisutyyppi | A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä |
Sormenjälki
Sukella tutkimusaiheisiin 'Computational fluid dynamics study of the atomic layer deposition process around cylindrical and planar configurations'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.Projektit
- 2 Päättynyt
-
ALDI: Reactive flow in porous media: modelling and experiments in atomic layer deposition context
Puurunen, R. (Vastuullinen tutkija), Revitzer, H. (Projektin jäsen), Viinikainen, T. (Projektin jäsen), Gonsalves, C. (Projektin jäsen), Velasco, J. (Projektin jäsen), Yim, J. (Projektin jäsen), Miikkulainen, V. (Projektin jäsen), Ossama, M. (Projektin jäsen) & Larkiala, S. (Projektin jäsen)
01/09/2020 → 31/08/2024
Projekti: Academy of Finland: Other research funding
-
-: Reaktiivinen virtaus huokoisessa materiaalissa: mallitus ja kokeet atomikerroskasvatuksessa
Vuorinen, V. (Vastuullinen tutkija), Ersavas Isitman, G. (Projektin jäsen), Kannan, J. (Projektin jäsen), Tamadonfar, P. (Projektin jäsen), Rintanen, A. (Projektin jäsen) & Karimkashi Arani, S. (Projektin jäsen)
01/09/2020 → 31/08/2024
Projekti: Academy of Finland: Other research funding