Siirry päänavigointiin Siirry hakuun Siirry pääsisältöön

Competitive iron gettering between internal gettering sites and boron implantation in CZ-silicon

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

7 Sitaatiot (Scopus)
AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut224-227
JulkaisuMaterials Science and Engineering B: Advanced Functional Solid-State Materials
Vuosikerta159-160
NumeroC
TilaJulkaistu - 2009
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Tutkimusalat

  • Boron; Gettering
  • Ion implantation
  • Iron
  • Relaxation
  • Silicon

Siteeraa tätä