Comparison of mechanical properties and composition of magnetron sputter and plasma enhanced atomic layer deposition aluminum nitride films

Perttu Sippola*, Alexander Pyymaki Perros, Oili M.E. Ylivaara, Helena Ronkainen, Jaakko Julin, Xuwen Liu, Timo Sajavaara, Jarkko Etula, Harri Lipsanen, Riikka L. Puurunen

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

9 Sitaatiot (Scopus)
269 Lataukset (Pure)
Suodatin
Päättynyt

Hakutulokset

  • Päättynyt

    Mechald (Lipsanen)

    Ali, S. (Projektin jäsen), Lipsanen, H. (Vastuullinen tutkija) & Sintonen, S. (Projektin jäsen)

    01/07/201130/06/2014

    Projekti: Business Finland: Other research funding