Comparison of mechanical properties and composition of magnetron sputter and plasma enhanced atomic layer deposition aluminum nitride films

Perttu Sippola*, Alexander Pyymaki Perros, Oili M.E. Ylivaara, Helena Ronkainen, Jaakko Julin, Xuwen Liu, Timo Sajavaara, Jarkko Etula, Harri Lipsanen, Riikka L. Puurunen

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

9 Sitaatiot (Scopus)
269 Lataukset (Pure)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Comparison of mechanical properties and composition of magnetron sputter and plasma enhanced atomic layer deposition aluminum nitride films'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Material Science