Characterization of vibration modes in piezoelectrically transduced MEMS resonators using laser interferometry

Olli Holmgren, Kimmo Kokkonen, Antti Jaakkola, S. Asmala, J. Dekker, A. Nurmela, Tuomas Pensala, T. Riekkinen, T. Mattila, Ari Alastalo, Matti Kaivola

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

AlkuperäiskieliEnglanti
OtsikkoThe XLIII Annual Conference of the Finnish Physical Society, Espoo, Finland, March 12-14, 2009
Sivut15
TilaJulkaistu - 2009
OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

Tutkimusalat

  • MEMS
  • resonator

Siteeraa tätä