Characterization of thin films for thickness non-uniformity

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference article in proceedings › Scientific › vertaisarvioitu

Alkuperäiskieli	Englanti
Otsikko	Newrad 2014, Espoo, Finland, June 24-27, 2014
Julkaisupaikka	Finland
Tila	Julkaistu - 2014
OKM-julkaisutyyppi	A4 Artikkeli konferenssijulkaisussa

Muut tiedostot ja linkit

TY - GEN

T1 - Characterization of thin films for thickness non-uniformity

AU - Pourjamal, Sara

AU - Mäntynen, Henrik

AU - Jaanson, Priit

AU - Manoocheri, Farshid

AU - Ikonen, Erkki

PY - 2014

Y1 - 2014

UR - http://newrad2014.aalto.fi/Newrad2014_Proceedings.pdf

M3 - Conference article in proceedings

BT - Newrad 2014, Espoo, Finland, June 24-27, 2014

CY - Finland

ER -