Characterization of thin film thickness

Sara Pourjamal, Henrik Mäntynen, Priit Jaanson, Dana Maria Rosu, Andreas Hertwig, Farshid Manoocheri, Erkki Ikonen

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

3 Sitaatiot (Scopus)
AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut302-308
JulkaisuMetrologia
Vuosikerta51
Numero6
TilaJulkaistu - 2014
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Siteeraa tätä

Pourjamal, S., Mäntynen, H., Jaanson, P., Maria Rosu, D., Hertwig, A., Manoocheri, F., & Ikonen, E. (2014). Characterization of thin film thickness. Metrologia, 51(6), 302-308.