Characterization of thin film adhesion by MEMS shaft-loading blister testing

Maria Berdova; Jussi Lyytinen; Kestuti Grigoras; Anu Baby; Lauri Kilpi; Helena Ronkainen; Sami Franssila; Jari Koskinen

doi:10.1116/1.4801921

Characterization of thin film adhesion by MEMS shaft-loading blister testing

Maria Berdova, Jussi Lyytinen, Kestuti Grigoras, Anu Baby, Lauri Kilpi, Helena Ronkainen, Sami Franssila, Jari Koskinen

Kemian ja materiaalitieteen laitos

VTT Technical Research Centre of Finland Ltd.

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

16 Sitaatiot (Scopus)

263 Lataukset (Pure)

Alkuperäiskieli	Englanti
Artikkeli	031102
Sivut	1-5
Sivumäärä	5
Julkaisu	JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY A
Vuosikerta	31
Numero	3
DOI - pysyväislinkit	https://doi.org/10.1116/1.4801921
Tila	Julkaistu - 2013
OKM-julkaisutyyppi	A1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Tutkimusalat

adhesion
atomic layer deposition
shaft-loading blister test
thin films

Pääsy asiakirjaan

10.1116/1.4801921

Berdova_lyytinen-et al-10-1116-1-4801921Final published version, 1,26 MB

OpenUrl-saatavuus

Koko teksti

Muut tiedostot ja linkit

http://dx.doi.org/10.1116/1.4801921

OtaNano
Anna Rissanen (Manager)
Aalto-yliopisto
Laitteistot/tilat: Facility
OtaNano Nanofab
Päivikki Repo (Manager)
OtaNano
Laitteistot/tilat: Facility
Raaka-aineiden tutkimusinfrastruktuuri
Maarit Karppinen (Manager)
Kemian tekniikan korkeakoulu
Laitteistot/tilat: Facility

Siteeraa tätä

@article{eb86f1561316487f9ace4adc7f492334,

title = "Characterization of thin film adhesion by MEMS shaft-loading blister testing",

keywords = "adhesion, atomic layer deposition, shaft-loading blister test, thin films, adhesion, atomic layer deposition, shaft-loading blister test, thin films, adhesion, atomic layer deposition, shaft-loading blister test, thin films",

author = "Maria Berdova and Jussi Lyytinen and Kestuti Grigoras and Anu Baby and Lauri Kilpi and Helena Ronkainen and Sami Franssila and Jari Koskinen",

year = "2013",

doi = "10.1116/1.4801921",

language = "English",

volume = "31",

pages = "1--5",

journal = "JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY A",

issn = "0734-2101",

publisher = "American Institute of Physics",

number = "3",

}

TY - JOUR

T1 - Characterization of thin film adhesion by MEMS shaft-loading blister testing

AU - Berdova, Maria

AU - Lyytinen, Jussi

AU - Grigoras, Kestuti

AU - Baby, Anu

AU - Kilpi, Lauri

AU - Ronkainen, Helena

AU - Franssila, Sami

AU - Koskinen, Jari

PY - 2013

Y1 - 2013

KW - adhesion

KW - atomic layer deposition

KW - shaft-loading blister test

KW - thin films

KW - adhesion

KW - atomic layer deposition

KW - shaft-loading blister test

KW - thin films

KW - adhesion

KW - atomic layer deposition

KW - shaft-loading blister test

KW - thin films

UR - http://dx.doi.org/10.1116/1.4801921

U2 - 10.1116/1.4801921

DO - 10.1116/1.4801921

M3 - Article

SN - 0734-2101

VL - 31

SP - 1

EP - 5

JO - JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY A

JF - JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY A

IS - 3

M1 - 031102

ER -

Characterization of thin film adhesion by MEMS shaft-loading blister testing

Tutkimusalat

Pääsy asiakirjaan

OpenUrl-saatavuus

Muut tiedostot ja linkit

Laitteet

OtaNano

OtaNano Nanofab

Raaka-aineiden tutkimusinfrastruktuuri

Siteeraa tätä