Characterization of the interface and intermediate layers of TiN/Ti/Substrate systems

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	211-212
Julkaisu	Micron and Microscopica Acta
Vuosikerta	23
Numero	1/2
Tila	Julkaistu - 1992
OKM-julkaisutyyppi	A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Tutkimusalat

@article{80b229d71aa84439a686aed24aa750eb,

title = "Characterization of the interface and intermediate layers of TiN/Ti/Substrate systems",

keywords = "TiN, titanium, TiN, titanium, TiN, titanium",

author = "K. Pischow",

year = "1992",

language = "English",

volume = "23",

pages = "211--212",

journal = "Micron and Microscopica Acta",

issn = "1878-111X",

publisher = "Elsevier",

number = "1/2",

}