Characterization of the Acoustical Behaviour of a Thin Film BAW Resonator via Interferometric Measurements

Kimmo Kokkonen, Tuomas Pensala

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

AlkuperäiskieliEnglanti
OtsikkoFysiikan Päivät 2007, Tallinna, 15.-17.3.2007
ToimittajatR. Vainio, J. Pomoell J., M. Louhivuori
JulkaisupaikkaHelsinki
KustantajaUniversity of Helsinki, Department of Physical Sciences
Sivut334
TilaJulkaistu - 2007
OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

Siteeraa tätä