Characterization of the Acoustical Behaviour of a Thin Film BAW Resonator via Interferometric Measurements

Kimmo Kokkonen; Tuomas Pensala

Characterization of the Acoustical Behaviour of a Thin Film BAW Resonator via Interferometric Measurements

Kimmo Kokkonen, Tuomas Pensala

Teknillisen fysiikan laitos

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference contribution › Scientific › vertaisarvioitu

Alkuperäiskieli	Englanti
Otsikko	Fysiikan Päivät 2007, Tallinna, 15.-17.3.2007
Toimittajat	R. Vainio, J. Pomoell J., M. Louhivuori
Julkaisupaikka	Helsinki
Kustantaja	University of Helsinki, Department of Physical Sciences
Sivut	334
Tila	Julkaistu - 2007
OKM-julkaisutyyppi	A4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

Siteeraa tätä

@inproceedings{488bd4c4f89e481a949016b12ea88b7a,

title = "Characterization of the Acoustical Behaviour of a Thin Film BAW Resonator via Interferometric Measurements",

author = "Kimmo Kokkonen and Tuomas Pensala",

year = "2007",

language = "English",

pages = "334",

editor = "R. Vainio and {Pomoell J.}, J. and M. Louhivuori",

booktitle = "Fysiikan P{\"a}iv{\"a}t 2007, Tallinna, 15.-17.3.2007",

publisher = "University of Helsinki, Department of Physical Sciences",

}

Characterization of the Acoustical Behaviour of a Thin Film BAW Resonator via Interferometric Measurements. / Kokkonen, Kimmo; Pensala, Tuomas.

Fysiikan Päivät 2007, Tallinna, 15.-17.3.2007. toim. / R. Vainio; J. Pomoell J.; M. Louhivuori. Helsinki : University of Helsinki, Department of Physical Sciences, 2007. s. 334.

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference contribution › Scientific › vertaisarvioitu

TY - GEN

T1 - Characterization of the Acoustical Behaviour of a Thin Film BAW Resonator via Interferometric Measurements

AU - Kokkonen, Kimmo

AU - Pensala, Tuomas

PY - 2007

Y1 - 2007

M3 - Conference contribution

SP - 334

BT - Fysiikan Päivät 2007, Tallinna, 15.-17.3.2007

A2 - Vainio, R.

A2 - Pomoell J., J.

A2 - Louhivuori, M.

PB - University of Helsinki, Department of Physical Sciences

CY - Helsinki

ER -