Characterization of Diffraction Gratings in a Rigorous Domain with Optical Scatterometry: Hierarchical Neural-Network Model

Ilkka Kallioniemi, J. Saarinen, Erkki Oja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

21 Sitaatiot (Scopus)
AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut5920-5930
JulkaisuApplied Optics
Vuosikerta38
Numero28
TilaJulkaistu - 1999
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Tutkimusalat

  • diffraction gratings
  • inverse problems
  • neural networks

Siteeraa tätä