Characterization of Atomic Layer Deposited Thin Films: Conformality in High Aspect Ratio Pores and the Electrical Properties of Capacitors

Sari Sirviö

    Tutkimustuotos: Licenciate's thesis

    Sormenjälki

    Sukella tutkimusaiheisiin 'Characterization of Atomic Layer Deposited Thin Films: Conformality in High Aspect Ratio Pores and the Electrical Properties of Capacitors'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

    Material Science