Characterization of AlScN-Based Multilayer Systems for Piezoelectric Micromachined Ultrasound Transducer (pMUT) Fabrication

Kristina Bespalova, Elmeri österlund, Glenn Ross, Mervi Paulasto-Kröckel, Abhilash Thanniyil Sebastian, Cyril Baby Karuthedath, Stefan Mertin, Tuomas Pensala

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

15 Sitaatiot (Scopus)

170 Lataukset (Pure)

1 tulosta

Suodatin

Päättynyt
POSITION-II: A pilot line for the next generation of smart catheters and implants
Paulasto-Kröckel, M. (Vastuullinen tutkija), Österlund, E. (Projektin jäsen), Bespalova, K. (Projektin jäsen), Dong, H. (Projektin jäsen), Vuorinen, V. (Projektin jäsen) & Kaaos, J. (Projektin jäsen)
01/06/2018 → 31/05/2021
Projekti: Business Finland: Other research funding