Characterization of AlScN-Based Multilayer Systems for Piezoelectric Micromachined Ultrasound Transducer (pMUT) Fabrication

Kristina Bespalova, Elmeri österlund, Glenn Ross, Mervi Paulasto-Kröckel, Abhilash Thanniyil Sebastian, Cyril Baby Karuthedath, Stefan Mertin, Tuomas Pensala

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

15 Sitaatiot (Scopus)
170 Lataukset (Pure)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Characterization of AlScN-Based Multilayer Systems for Piezoelectric Micromachined Ultrasound Transducer (pMUT) Fabrication'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Material Science