Characterization and Gas-Sensing Properties of Iron Oxide Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition

Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

Tutkijat

Organisaatiot

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut6110-6115
JulkaisuThin Solid Films
Vuosikerta516
TilaJulkaistu - 2008
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

  • Atomic force microscopy, Atomic layer deposition, Gas sensor, Iron oxide, XPS

ID: 3586903