Cast Monocrystalline Silicon: New Alternative for Micro- and Nano-electromechanical Systems

Zhengjun Liu, Ville Vähänissi, Nikolai Chekurov, Ilkka Tittonen, Hele Savin

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

259 Lataukset (Pure)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Cast Monocrystalline Silicon: New Alternative for Micro- and Nano-electromechanical Systems'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Engineering

Material Science

Physics