Cast Monocrystalline Silicon: New Alternative for Micro- and Nano-electromechanical Systems

Zhengjun Liu, Ville Vähänissi, Nikolai Chekurov, Ilkka Tittonen, Hele Savin

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

259 Lataukset (Pure)

Hakutulokset