Capacitive Accelerometer Interfaces Utilising High-Q Micromechanical Sensor Elements

Julkaisun otsikon käännös: Korkean Q-arvon mikromekaanisia anturielementtejä käyttävät kapasitiiviset kiihtyvyysanturirajapinnat

Mikail Yücetaş

    Tutkimustuotos: Doctoral ThesisMonograph

    Sormenjälki

    Sukella tutkimusaiheisiin 'Korkean Q-arvon mikromekaanisia anturielementtejä käyttävät kapasitiiviset kiihtyvyysanturirajapinnat'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

    Engineering