Blistering effect in ALD Al2O3 thin films grown with timethylaluminum and water

Maria Berdova, Ville Rontu, Timo Sajavaara, Antti-Pekka Eskelinen, Sami Franssila

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaKonferenssiesitysScientific

AlkuperäiskieliEnglanti
TilaJulkaistu - 12 toukok. 2014
OKM-julkaisutyyppiEi sovellu
TapahtumaInternational Baltic Conference on Atomic Layer Deposition - Helsinki, Suomi
Kesto: 12 toukok. 201413 toukok. 2014
Konferenssinumero: 12

Conference

ConferenceInternational Baltic Conference on Atomic Layer Deposition
LyhennettäBaltic ALD
Maa/AlueSuomi
KaupunkiHelsinki
Ajanjakso12/05/201413/05/2014

Siteeraa tätä