Atomic/molecular layer deposition of Ti-organic thin films from different aromatic alcohol and amine precursors

Anne Tanskanen, Pia Sundberg, Michael Nolan, Maarit Karppinen*

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

5 Sitaatiot (Scopus)
82 Lataukset (Pure)

Hakutulokset