Atomic layer etching of gallium nitride (0001)

Christoffer Kauppinen, Sabbir Ahmed Khan, Jonas Sundqvist, Dmitry B. Suyatin, Sami Suihkonen, Esko I. Kauppinen, Markku Sopanen

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

21 Sitaatiot (Scopus)
768 Lataukset (Pure)

Hakutulokset