Atomic layer deposition of ZnO: a review

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

Tutkijat

Organisaatiot

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut043001
JulkaisuSemiconductor Science and Technology
Vuosikerta29
Numero4
TilaJulkaistu - 2014
OKM-julkaisutyyppiA2 Arvio tiedejulkaisuussa (artikkeli)

ID: 840095