Atomic layer deposition of ZnO: a review

Tommi Tynell, Maarit Karppinen

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliReview ArticleScientificvertaisarvioitu

    278 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut043001
    JulkaisuSemiconductor Science and Technology
    Vuosikerta29
    Numero4
    TilaJulkaistu - 2014
    OKM-julkaisutyyppiA2 Arvio tiedejulkaisuussa (artikkeli)

    Siteeraa tätä