Atomic layer deposition of ZnO: a review

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Review Article › Scientific › vertaisarvioitu

278 Sitaatiot (Scopus)

Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	043001
Julkaisu	Semiconductor Science and Technology
Vuosikerta	29
Numero	4
Tila	Julkaistu - 2014
OKM-julkaisutyyppi	A2 Arvio tiedejulkaisuussa (artikkeli)

Siteeraa tätä

@article{e15ac358fec64d2cbb5905a9e2964872,

title = "Atomic layer deposition of ZnO: a review",

author = "Tommi Tynell and Maarit Karppinen",

year = "2014",

language = "English",

volume = "29",

pages = "043001",

journal = "Semiconductor Science and Technology",

issn = "0268-1242",

publisher = "IOP Publishing Ltd.",

number = "4",

}