Atomic layer deposition of thin aluminium oxide films for carbon nanotube based transitors

M.Y Zavodchikova, A.G Nasibulin, K. Grigoras, E.I Kauppinen, V. Ermolov, S. Franssila

    Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut160-161
    TilaJulkaistu - 2009
    OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

    Julkaisusarja

    Nimi4th International Conference on Surfaces, Coatings and Nanostructured Materials, Rome, Italy, Oct 19-22

    Siteeraa tätä