Atomic layer deposition of rare earth oxides:erbium oxide thin films from beta-diketonate and ozone precursors

Jani Päiväsaari, Matti Putkonen, Timo Sajavaara, Lauri Niinistö

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    61 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut124-128
    JulkaisuJournal of Alloys and Compounds
    Vuosikerta374
    TilaJulkaistu - 2004
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

    • atomic layer deposition
    • beta-diketonate precursor
    • erbium oxide
    • rare earth oxides
    • thin films

    Siteeraa tätä