Atomic Layer Deposition of Rare Earth Oxides

Jani Päiväsaari; Jaakko Niinistö; Pia Myllymäki; Charles Dezelah IV; Charles H. Winter; Matti Putkonen; Minna Nieminen; Lauri Niinistö

Atomic Layer Deposition of Rare Earth Oxides

Jani Päiväsaari, Jaakko Niinistö, Pia Myllymäki, Charles Dezelah IV, Charles H. Winter, Matti Putkonen, Minna Nieminen, Lauri Niinistö

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

30 Sitaatiot (Scopus)

Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	15-32
Julkaisu	TOPICS IN APPLIED PHYSICS
Vuosikerta	106
Tila	Julkaistu - 2007
OKM-julkaisutyyppi	A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Siteeraa tätä

@article{efa15c7420d14cb39bcc37b5f12c1dda,

title = "Atomic Layer Deposition of Rare Earth Oxides",

author = "Jani P{\"a}iv{\"a}saari and Jaakko Niinist{\"o} and Pia Myllym{\"a}ki and {Dezelah IV}, Charles and Winter, {Charles H.} and Matti Putkonen and Minna Nieminen and Lauri Niinist{\"o}",

year = "2007",

language = "English",

volume = "106",

pages = "15--32",

journal = "TOPICS IN APPLIED PHYSICS",

issn = "0303-4216",

publisher = "Springer",

}

TY - JOUR

T1 - Atomic Layer Deposition of Rare Earth Oxides

AU - Päiväsaari, Jani

AU - Niinistö, Jaakko

AU - Myllymäki, Pia

AU - Dezelah IV, Charles

AU - Winter, Charles H.

AU - Putkonen, Matti

AU - Nieminen, Minna

AU - Niinistö, Lauri

PY - 2007

Y1 - 2007

M3 - Article

SN - 0303-4216

VL - 106

SP - 15

EP - 32

JO - TOPICS IN APPLIED PHYSICS

JF - TOPICS IN APPLIED PHYSICS

ER -