Atomic layer deposition of piezoelectric aluminum nitride thin films

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaPosterScientific

AlkuperäiskieliEnglanti
TilaJulkaistu - 16 heinäkuuta 2019
OKM-julkaisutyyppiEi oikeutettu
TapahtumaInternational Workshop on PiezoMEMS - Lausanne, Sveitsi
Kesto: 14 heinäkuuta 201919 heinäkuuta 2019
Konferenssinumero: 7
https://lausanne2019.org

Workshop

WorkshopInternational Workshop on PiezoMEMS
LyhennettäIWPM
MaaSveitsi
KaupunkiLausanne
Ajanjakso14/07/201919/07/2019
www-osoite

Laitteet

  • Siteeraa tätä

    Österlund, E., Seppänen, H., & Paulasto-Kröckel, M. (2019). Atomic layer deposition of piezoelectric aluminum nitride thin films. Posterin esittämispaikka: International Workshop on PiezoMEMS, Lausanne, Sveitsi.