Atomic layer deposition of PbZrO3 thin films

Jenni Harjuoja, Samuli Väyrynen, Matti Putkonen, Lauri Niinistö, Eero Rauhala

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    15 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut5228-5232
    JulkaisuApplied Surface Science
    Vuosikerta253
    Numero12
    TilaJulkaistu - 2007
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Siteeraa tätä