Atomic layer deposition of PbZrO3 thin films

Jenni Harjuoja, Samuli Väyrynen, Matti Putkonen, Lauri Niinistö, Eero Rauhala

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

15 Sitaatiot (Scopus)

Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	5228-5232
Julkaisu	Applied Surface Science
Vuosikerta	253
Numero	12
Tila	Julkaistu - 2007
OKM-julkaisutyyppi	A1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Siteeraa tätä

@article{053e2c9d2d22428d9e5709273932a591,

title = "Atomic layer deposition of PbZrO3 thin films",

author = "Jenni Harjuoja and Samuli V{\"a}yrynen and Matti Putkonen and Lauri Niinist{\"o} and Eero Rauhala",

year = "2007",

language = "English",

volume = "253",

pages = "5228--5232",

journal = "Applied Surface Science",

issn = "0169-4332",

publisher = "Elsevier Science B.V.",

number = "12",

}