Atomic layer deposition of niobium nitride thin films

Ville Rontu

Kemian ja materiaalitieteen laitos

Tutkimustuotos: Master's thesis

3 tulosta
- Nimi(laskeva)

OtaNano
Anna Rissanen (Manager)
Aalto-yliopisto
Laitteistot/tilat: Facility
OtaNano Nanofab
Päivikki Repo (Manager)
OtaNano
Laitteistot/tilat: Facility
Raaka-aineiden tutkimusinfrastruktuuri
Maarit Karppinen (Manager)
Kemian tekniikan korkeakoulu
Laitteistot/tilat: Facility