Atomic layer deposition of niobium nitride thin films

Ville Rontu

Kemian ja materiaalitieteen laitos

Tutkimustuotos: Master's thesis

Alkuperäiskieli	Englanti
Kustantaja	Aalto University
Tila	Julkaistu - 2014
OKM-julkaisutyyppi	G2 Pro gradu, diplomityö, ylempi amk-opinnäytetyö

Pääsy asiakirjaan

https://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/14667

OtaNano
Rissanen, A. (Manager)
Aalto-yliopisto
Laitteistot/tilat: Facility
OtaNano Nanofab
Repo, P. (Manager) & Rissanen, A. (Other)
OtaNano
Laitteistot/tilat: Facility
Raaka-aineiden tutkimusinfrastruktuuri
Karppinen, M. (Manager)
Kemian tekniikan korkeakoulu
Laitteistot/tilat: Facility

Siteeraa tätä