Atomic layer deposition of niobium nitride thin films

Ville Rontu

Kemian ja materiaalitieteen laitos

Tutkimustuotos: Master's thesis

Alkuperäiskieli	Englanti
Kustantaja	Aalto University
Tila	Julkaistu - 2014
OKM-julkaisutyyppi	G2 Pro gradu -työ, ammattikorkeakoulun laajennettu opinnäytetyö

Pääsy asiakirjaan

https://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/14667

OpenUrl-saatavuus

OtaNano
Anna Rissanen (Manager)
Aalto-yliopisto
Laitteistot/tilat: Facility
OtaNano Nanofab
Päivikki Repo (Manager)
OtaNano
Laitteistot/tilat: Facility
Raaka-aineiden tutkimusinfrastruktuuri
Maarit Karppinen (Manager)
Kemian tekniikan korkeakoulu
Laitteistot/tilat: Facility

Siteeraa tätä