Atomic layer deposition of niobium nitride thin films

Tutkimustuotos: Master's thesisTheses

AlkuperäiskieliEnglanti
Kustantaja
TilaJulkaistu - 2014
OKM-julkaisutyyppiG2 Pro gradu -työ, ammattikorkeakoulun laajennettu opinnäytetyö

Laitteet

OtaNano

Anna Rissanen (Manager)

Aalto-yliopisto

Laitteistot/tilat: Facility

  • Siteeraa tätä