Atomic layer deposition of metal fluorides through oxide chemistry

Matti Putkonen, A Szeghalmi, E Pippel, Mato Knez

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    19 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut14461-14465
    JulkaisuJournal of Materials Chemistry
    Vuosikerta21
    DOI - pysyväislinkit
    TilaJulkaistu - 2011
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Siteeraa tätä