Atomic layer deposition of LixTiyOz thin films

V. Miikkulainen, O. Nilsen, Mikko Laitinen, Timo Sajavaara, H. Fjellvåg

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

39 Sitaatiot (Scopus)
AlkuperäiskieliEnglanti
JulkaisuRSC Advances
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 2013
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Siteeraa tätä