Atomic Layer Deposition of Lithium Phosphorus Oxynitride

Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

Tutkijat

Organisaatiot

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut6987-6993
JulkaisuChemistry of Materials
Vuosikerta27
Numero20
TilaJulkaistu - 2015
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

ID: 1474164