Atomic Layer Deposition of Lithium Phosphorus Oxynitride

Mikko Nisula, Yohei Shindo, Hideyuki Koga, Maarit Karppinen

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    74 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut6987-6993
    JulkaisuChemistry of Materials
    Vuosikerta27
    Numero20
    DOI - pysyväislinkit
    TilaJulkaistu - 2015
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Siteeraa tätä