Atomic layer deposition of lithium containing thin films

Matti Putkonen, Titta Aaltonen, Mari Alnes, Timo Sajavaara, Ola Nilsen, Helmer Fjellvåg

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

66 Sitaatiot (Scopus)

Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	8767-8771
Julkaisu	Journal of Materials Chemistry
Vuosikerta	19
Tila	Julkaistu - 2009
OKM-julkaisutyyppi	A1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Siteeraa tätä

@article{ac7ecb2a50e04220adc35f08ab0e6ce1,

title = "Atomic layer deposition of lithium containing thin films",

author = "Matti Putkonen and Titta Aaltonen and Mari Alnes and Timo Sajavaara and Ola Nilsen and Helmer Fjellv{\aa}g",

year = "2009",

language = "English",

volume = "19",

pages = "8767--8771",

journal = "Journal of Materials Chemistry",

issn = "0959-9428",

}