Atomic layer deposition of lithium containing thin films

Matti Putkonen, Titta Aaltonen, Mari Alnes, Timo Sajavaara, Ola Nilsen, Helmer Fjellvåg

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    66 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut8767-8771
    JulkaisuJournal of Materials Chemistry
    Vuosikerta19
    TilaJulkaistu - 2009
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Siteeraa tätä