Atomic layer deposition of Gd_(2)O_(3) and Ce_(1-x)Gd_(x)O_(2-0.5x) thin films

Jaakko Niinistö, Jani Päiväsaari, Matti Putkonen, Lauri Niinistö, Emmanuel Gourba, Michel Cassir

    Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

    AlkuperäiskieliEnglanti
    JulkaisupaikkaTartu, Estonia
    Sivut35
    TilaJulkaistu - 2002
    OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

    Julkaisusarja

    NimiThe Fifth Baltic Symposium on Atomic Layer Deposition (BALD-5), Tartu, Estonia, 24-26 October 2002
    KustantajaInstitute of Physics, University of Tartu

    Tutkimusalat

    • ALD
    • thin films
    • YSZ

    Siteeraa tätä