Atomic layer deposition of AlN from AlCl3 using NH3 and Ar/NH3 plasma

Ville Rontu, Perttu Sippola, Mikael Broas, Glenn Ross, Harri Lipsanen, Mervi Paulasto-Kröckel, Sami Franssila

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

20 Sitaatiot (Scopus)
260 Lataukset (Pure)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Atomic layer deposition of AlN from AlCl3 using NH3 and Ar/NH3 plasma'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy

Chemical Compounds