Sormenjälki
Sukella tutkimusaiheisiin 'Atomic layer deposition of AlN from AlCl3 using NH3 and Ar/NH3 plasma'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.- Järjestys:
- Painoarvo
- Aakkosjärjestyksessä
Atomic layer deposition of AlN from AlCl3 using NH3 and Ar/NH3 plasma
Ville Rontu, Perttu Sippola, Mikael Broas, Glenn Ross, Harri Lipsanen, Mervi Paulasto-Kröckel, Sami Franssila
Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu
20
Sitaatiot
(Scopus)
260
Lataukset
(Pure)