Atomic layer deposition of Al2O3, TiO2 and ZnO films into high aspect ratio pores

Sari Sirviö, L. Sainiemi, S. Franssila, K. Grigoras

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

    5 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    OtsikkoTransducers 07, Lyon, France, 10-14.06.2007
    Sivut521-524
    TilaJulkaistu - 2007
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

    Tutkimusalat

    • ALD
    • alumina
    • porous materials
    • titania

    Siteeraa tätä