Atomic layer deposition in fabrication of micro- and nanodevices

Julkaisun otsikon käännös: Atomikerroskasvatus mikro- ja nanoteknologiassa

Ville Rontu

Tutkimustuotos: Doctoral ThesisCollection of Articles

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Atomikerroskasvatus mikro- ja nanoteknologiassa'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Material Science