Atomic layer deposition enhanced rapid fabrocation of released micromechanical devices for research purposes

Nikolai Chekurov, Mika Koskenvuori, V-M Airaksinen, Ilkka Tittonen

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

AlkuperäiskieliEnglanti
OtsikkoPhysics Days, XLI Annual Conference of the Finnish Physical Society, Tallinn, Estonia, 15-17 March
TilaJulkaistu - 2007
OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

Tutkimusalat

  • atomic layer deposition
  • cryogenic etching
  • fabrication
  • micromechanics

Siteeraa tätä