Atomic layer deposition and post-deposition annealing of PbTiO3 thin films

Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

Tutkijat

  • Jenni Harjuoja
  • Anne Kosola
  • Matti Putkonen
  • Lauri Niinistö

Organisaatiot

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut346-352
JulkaisuThin Solid Films
Vuosikerta496
Numero2
TilaJulkaistu - 2006
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

  • ALD, Atomic Layer Deposition, Lead titanate, thin film

ID: 2414405