Atomic Layer Deposited Alumina (Al203) Coating on Thin Film Cryoresistors

Päivi Sievilä, Ossi Hahtela, Alexandre Satrapinski, Nikolai Chekurov

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    7 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut1183-1187
    JulkaisuIEEE Transactions on Instrumentation and Measurement
    Vuosikerta58
    Numero4
    TilaJulkaistu - 2009
    OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

    Tutkimusalat

    • coatings
    • dielectric films
    • resistance measurement
    • stability
    • thin-film resistors

    Siteeraa tätä