Atomic and Molecular Layer Deposition of Functional Thin Films Based on Rare Earth Elements
- Amr Ghazy
- , David Zanders
- , Anjana Devi*
- , Maarit Karppinen*
*Tämän työn vastaava kirjoittaja
Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Review Article › vertaisarvioitu
10
Viittaukset
(Web of Science)
23
Lataukset
(Pure)