Analysis of simultaneous boron and phosphorus diffusion gettering in silicon

Jonas Schön, M.C. Schubert, W. Warta, Hele Savin, Antti Haarahiltunen

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

17 Sitaatiot (Scopus)
AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut25892592
JulkaisuPHYSICA STATUS SOLIDI A: APPLICATIONS AND MATERIALS SCIENCE
Vuosikerta207
Numero11
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 2010
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Siteeraa tätä