Amorphous lanthanum lutetium oxide thin films as an alternative high-k material

J.M.J. Lopes; M. Roeckerath; T. Heeg; J. Schubert; U. Litmark; S. Mantl; A. Besmehn; P. Myllymäki; Lauri Niinistö; C. Adamo; D.G. Schlom

Amorphous lanthanum lutetium oxide thin films as an alternative high-k material

J.M.J. Lopes, M. Roeckerath, T. Heeg, J. Schubert, U. Litmark, S. Mantl, A. Besmehn, P. Myllymäki, Lauri Niinistö, C. Adamo, D.G. Schlom

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

13 Sitaatiot (Scopus)

Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	311-318
Julkaisu	ECS Transactions
Vuosikerta	11
Numero	4
Tila	Julkaistu - 2007
OKM-julkaisutyyppi	A1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

OpenUrl-saatavuus

Koko teksti

Siteeraa tätä

@article{4612ed44f8f0431a9f67a4b71ff92885,

title = "Amorphous lanthanum lutetium oxide thin films as an alternative high-k material",

author = "J.M.J. Lopes and M. Roeckerath and T. Heeg and J. Schubert and U. Litmark and S. Mantl and A. Besmehn and P. Myllym{\"a}ki and Lauri Niinist{\"o} and C. Adamo and D.G. Schlom",

year = "2007",

language = "English",

volume = "11",

pages = "311--318",

journal = "ECS Transactions",

issn = "1938-5862",

publisher = "Electrochemical Society",

number = "4",

}

TY - JOUR

T1 - Amorphous lanthanum lutetium oxide thin films as an alternative high-k material

AU - Lopes, J.M.J.

AU - Roeckerath, M.

AU - Heeg, T.

AU - Schubert, J.

AU - Litmark, U.

AU - Mantl, S.

AU - Besmehn, A.

AU - Myllymäki, P.

AU - Niinistö, Lauri

AU - Adamo, C.

AU - Schlom, D.G.

PY - 2007

Y1 - 2007

M3 - Article

VL - 11

SP - 311

EP - 318

JO - ECS Transactions

JF - ECS Transactions

SN - 1938-5862

IS - 4

ER -