Aluminum oxide mask fabrication by focused ion beam implantation combined with wet etching

Zhengjun Liu; Kari Iltanen; Nikolai Chekurov; Kestutis Grigoras; Ilkka Tittonen

doi:10.1088/0957-4484/24/17/175304

Aluminum oxide mask fabrication by focused ion beam implantation combined with wet etching

Zhengjun Liu, Kari Iltanen, Nikolai Chekurov, Kestutis Grigoras, Ilkka Tittonen

Ilkka Tittonen Group

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

12 Sitaatiot (Scopus)

Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	175304
Julkaisu	Nanotechnology
Vuosikerta	24
Numero	17
DOI - pysyväislinkit	https://doi.org/10.1088/0957-4484/24/17/175304
Tila	Julkaistu - 2013
OKM-julkaisutyyppi	A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Pääsy asiakirjaan

10.1088/0957-4484/24/17/175304

OpenUrl-saatavuus

Koko teksti

Muut tiedostot ja linkit

http://iopscience.iop.org/0957-4484/24/17/175304

OtaNano
Anna Rissanen (Manager)
Aalto-yliopisto
Laitteistot/tilat: Facility

Siteeraa tätä

@article{8a95927161344af8badbeaacea14c119,

title = "Aluminum oxide mask fabrication by focused ion beam implantation combined with wet etching",

author = "Zhengjun Liu and Kari Iltanen and Nikolai Chekurov and Kestutis Grigoras and Ilkka Tittonen",

year = "2013",

doi = "10.1088/0957-4484/24/17/175304",

language = "English",

volume = "24",

pages = "175304",

journal = "Nanotechnology",

issn = "0957-4484",

publisher = "Institute of Physics Publishing ",

number = "17",

}

TY - JOUR

T1 - Aluminum oxide mask fabrication by focused ion beam implantation combined with wet etching

AU - Liu, Zhengjun

AU - Iltanen, Kari

AU - Chekurov, Nikolai

AU - Grigoras, Kestutis

AU - Tittonen, Ilkka

PY - 2013

Y1 - 2013

UR - http://iopscience.iop.org/0957-4484/24/17/175304

U2 - 10.1088/0957-4484/24/17/175304

DO - 10.1088/0957-4484/24/17/175304

M3 - Article

SN - 0957-4484

VL - 24

SP - 175304

JO - Nanotechnology

JF - Nanotechnology

IS - 17

ER -

Aluminum oxide mask fabrication by focused ion beam implantation combined with wet etching

Pääsy asiakirjaan

OpenUrl-saatavuus

Muut tiedostot ja linkit

Laitteet

OtaNano

Siteeraa tätä