Aluminum Nitride Transition Layer for Power Electronics Applications Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

Heli Seppänen, Iurii Kim, Jarkko Etula, Evgeniy Ubyivovk, Alexey Buravlev, Harri Lipsanen

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

7 Sitaatiot (Scopus)
157 Lataukset (Pure)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Aluminum Nitride Transition Layer for Power Electronics Applications Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy